CHR 150 E
距离和层厚的非接触式测量

CHR 150 E

高测量精度、测量探头的坚固结构，物体表面情况的独立测量，使得CHR 150 E在实验室和工厂都可以使用。

特性

• 在300 µm测量范围内的分辨率为10nm，扫描频率为1kHz。
• 对常态和反射表面，测量探头的角度可在很大范围内调整（90°±30°）
• 白光测量（测量结果不被混杂图像干扰）
• 共焦测量原理避免了边缘的衰减
• 典型应用：
  - 表面和透明层测量
  - 微观结构表面形态测量
• 易于集成到自动测量系统，以满足个性化需要。

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